第690章 芯片战忽局(第2页)
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一是浸润式光刻技术,由此对应着duV光刻机。
一是深紫外线光刻机技术,由此对应着euV光刻机。
九十年代,干式光刻机技术大行其道,其芯片生产工艺达到了65nm,接下来的目标是向着45nm前进。
然而干式光刻机使用的是干式介质,采用的光线有一大堆问题,非常难以解决。
这时候某电的林本坚就提出了一个观点,即用水来充当介质。
经过试验,他现这一思路是可行的。
彼时的光刻机巨头尼康、佳能。
这些大厂早就在干式光刻机上投入了几十亿美元研究,投入太多,无法改弦更张。
而asmL因为是一家小厂,秉承着光脚不怕穿鞋的理念,和某电合力研浸润式光刻机了。
最后就是asmL与台积电研浸润式光刻机成功了。
这就是duV光刻机。
经过了多年的展,目前,duV光刻机已经可以满足绝大多数需求,可以覆盖7nm及以上制程需求。
到了这时候,学者们的普遍观点是,euV将是下一代光刻技术。
euV光刻机采用波长为1o-14纳米的极紫外光作为光源,可使曝光波长一下子降到13。5nm,能满足1onm以下的晶圆制造,并且还可以向5nm、3nm继续延伸。
另外值得一提,早在2o世纪8o年代,大约是1985年,就有学者开始研究euV光刻技术。
只可惜技术一直达不到要求,而且要消耗大量的资金,因此这一技术展缓慢。
直到2o15年,euV光刻机才进入可量产阶段。
“我记得之前看过资料,一台euV光刻机的造价高达65oo万美元,如果初期研究,投入的花销还会更多,所以目前,我应该推进浸润式光刻机的展,这是符合时代潮流的,等通过浸润式光刻机将星火电子厂做大做强后,再来推进euV光刻机的研究。”
“虽然我可以从万界商城中购买到全套技术,但以目前的环境、人才、社会形势,还不到拿出完整浸润式光刻机的时候,还需要等待啊。”
这个世界是复杂的,联动的。
并不是有技术就可以为所欲为。
君不见脚盆鸡在半导体如日中天,却被美爹以非常非常血腥的方式瓜分肢解。
君不见华为前脚遥遥领先,后脚就被美帝无耻打压。
曹卫东对此很警惕。
很快,他就在心里制定了一套方案。
一方面,联合神州科学院,悄然进行浸润式光刻机的研究。
另一方面,提醒国家,以应对西方世界动的舆论战,防止出现自废武功的事情。
“咦,这样的话,我似乎可以成立一个战忽局了,芯片战忽局?”
“什么浸润式光刻机,那只是干式光刻机改而已。。。。。。。”
“什么1onm,就是比常规芯片小一点而已。。。。。。。”
“什么浸润式技术,什么euV光刻技术,干式光刻技术才是未来的王道!”
“美帝,你看我们旁边的脚盆鸡、韩棒子、阿三哥,他们都有狼子野心啊。。。。。。。”
想到这里,曹卫东表情瞬间变得古怪起来。
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